Máy bơm chân không là một thiết bị hoặc dụng cụ sử dụng phương pháp cơ học, vật lý, hóa học hoặc vật lý-hóa học để hút chân không một thùng chứa được bơm để đạt được chân không. Nói chung, máy bơm chân không là một thiết bị sử dụng nhiều phương pháp khác nhau để cải thiện, tạo ra và duy trì chân không trong không gian kín.
Theo nguyên lý hoạt động của máy bơm chân không, máy bơm chân không về cơ bản có thể chia thành hai loại, cụ thể là máy bơm thu khí và máy bơm chuyển khí. Nó được sử dụng rộng rãi trong luyện kim, công nghiệp hóa chất, thực phẩm, sơn điện tử và các ngành công nghiệp khác.
Hai rôto của bơm chân không được đồng bộ hóa tương đối bằng một cặp bánh răng có độ chính xác cao. Trục truyền động được kết nối với động cơ thông qua một khớp nối. Có hai loại sắp xếp cấu trúc truyền động chính: một là động cơ và bánh răng được đặt ở cùng một phía của rôto như thể hiện trong hình. Rôto bị dẫn động được truyền động trực tiếp bởi bánh răng ở đầu động cơ. Theo cách này, biến dạng xoắn của trục rôto bị dẫn động nhỏ và khe hở giữa hai rôto sẽ không thay đổi do biến dạng xoắn lớn của trục bị dẫn động, do đó khe hở giữa các rôto đang chạy. Quá trình này là đều. Nhược điểm lớn nhất của phương pháp truyền động này là: a. Có ba ổ trục trên trục truyền động, làm tăng độ khó gia công và lắp ráp của bơm, việc tháo rời và điều chỉnh bánh răng không thuận tiện; b. Cấu trúc tổng thể không đồng đều và trọng tâm của bơm bị lệch về phía động cơ và hộp số.
(1) Có tốc độ bơm lớn trong phạm vi áp suất rộng;
(2) Roto có tính đối xứng hình học tốt, do đó độ rung nhỏ, hoạt động ổn định. Có khe hở giữa các rotor và giữa rotor và vỏ. Không cần bôi trơn, tổn thất ma sát nhỏ. Có thể giảm đáng kể công suất truyền động, do đó có thể đạt được tốc độ cao hơn.
(3) Không cần phải bịt kín và bôi trơn bằng dầu trong khoang bơm, có thể giảm ô nhiễm hệ thống chân không do hơi dầu;
(4) Không có nén trong khoang bơm, không có van xả. Cấu trúc đơn giản và nhỏ gọn, không nhạy cảm với bụi và hơi nước trong khí được bơm;
(5) Độ nén tương đối thấp, hiệu quả bơm khí hydro kém;
(6) Bề mặt của rôto là bề mặt hình trụ cong phức tạp hơn, khó gia công và kiểm tra.